10C型全自動(dòng)硅片插片機(jī)是根據(jù)光伏產(chǎn)業(yè)和國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展及市場需求由南亞公司獨(dú)立開發(fā)研制的新型全自動(dòng)化設(shè)備??赏ㄟ^數(shù)控裝置可靠地實(shí)現(xiàn)自動(dòng)裝片,并設(shè)有連鎖保護(hù)、工況顯示、故障報(bào)警等功能。
該設(shè)備主要用于硅片、太陽能電池片等類似形狀產(chǎn)品清洗前的自動(dòng)裝盒。
崩邊率:≤0.3%(由設(shè)備自身原因引起,硅片質(zhì)量問題及其它設(shè)備影響除外);
碎片率:≤0.2%(由設(shè)備自身原因引起,硅片質(zhì)量問題及其它設(shè)備影響除外);
隱裂率:≤0.2%(由設(shè)備自身原因引起,硅片質(zhì)量問題及其它設(shè)備影響除外);
適應(yīng)硅片:整片硅片
①硅片種類:單晶硅片
②硅片尺寸:166~230mm兼容,上料工裝裝載量≥800片,182/210mm(兼容)工裝夾具由設(shè)備廠家提供(每臺機(jī)提供4個(gè)),不另外收取費(fèi)用。
注:整片機(jī)型與半片機(jī)型之間不具備兼容性
③ 硅片厚度:90μm ---220μm
④ 適用清洗籃:雙方提前確定花籃形式及外形尺寸。
⑤ 產(chǎn)能: 166~182mm≥8300
210mm≥7500
230mm≥7000片/小時(shí)。
控制系統(tǒng):PLC可編程控制器,交流伺服系統(tǒng)。
碎片檢測系統(tǒng):檢測碎片、缺角和疊片并自動(dòng)剔除。
氣源流量:進(jìn)氣管口徑≥10mm與清洗機(jī)接口:插滿硅片的片籃通過自帶的機(jī)械手或機(jī)械裝置自動(dòng)平穩(wěn)的抓取至清洗
機(jī)翻轉(zhuǎn)臺,過程無需人為干預(yù)。
連續(xù)工作時(shí)間:可連續(xù)24小時(shí)工作
電源: AC220V(單相三線)、50HZ
設(shè)備功率: 7.0KW